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题名:
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MEMS法珀腔光学声传感器 [ 专著] MEMS fa po qiang guang xue sheng chuan gan qi / 郑永秋，陈佳敏，武丽云著 , |
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ISBN:
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978-7-121-46695-3 价格： CNY98.00 |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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211页 图，照片 23cm |
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出版发行:
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出版地： 北京 出版社： 电子工业出版社 出版日期： 2023 |
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内容提要:
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本书论述了MEMS法珀腔光学声传感器的传感机理、法珀腔声敏感结构的优化设计及制备、调相谱检测的声信号解调技术等，还对MEMS法珀腔光学声传感器进行了测试与分析。 |
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主题词:
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光纤传感器 |
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中图分类法:
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TP212.4 版次： 5 |
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主要责任者:
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郑永秋 zheng yong qiu 著 |
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主要责任者:
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陈佳敏 chen jia min 著 |
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主要责任者:
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武丽云 wu li yun 著 |