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题名:
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MEMS光纤声压传感器技术 MEMS guang xian sheng ya chuan gan qi ji shu / 金鹏[等]著 , |
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ISBN:
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978-7-03-069327-3 价格： CNY99.00 |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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170页 图 24cm |
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出版发行:
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出版地： 北京 出版社： 科学出版社 出版日期： 2022 |
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内容提要:
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本书首先介绍MEMS光纤声压传感器的结构特征、发展历程和应用前景；其次根据MEMS光纤声压传感器的工作原理，从光学和力学两个角度进行介绍与分析；然后从制作角度介绍传感器的膜片加工和结构封装；最后对传感器的性能进行测试。 |
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主题词:
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光纤压力传感器 |
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中图分类法:
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TP212.4 版次： 5 |
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主要责任者:
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金鹏 jin peng 著 |
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附注:
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国家科学技术学术著作出版基金资助出版 |
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索书号:
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2 |