题名:	微光机电系统 / (日)泽田廉士，(日)羽根一博，(日)日暮荣治著 ,
ISBN:	7-03-013313-7 价格： 38
语种:	CHI
载体形态:	41
出版发行:	出版地：出版社：科学出版社出版日期： 2005
中图分类法:	TH-39/3604 版次：