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题名:
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微纳传感器及其应用 / 朱勇, 张海霞编著 , |
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ISBN:
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978-7-301-17378-7 价格： CNY28.00 |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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191页 图 23cm |
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出版发行:
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出版地： 北京 出版社： 北京大学出版社 出版日期： 2010 |
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内容提要:
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本书约32万字, 共分8章, 第一章对MEMS进行了概述, 简要介绍了MEMS技术的定义、基础理论、制造技术及应用; 其后的第二-七章分别以机械上微传感器、热微传感器、磁微传感器、光学传感器与辐射微传感器、化学微传感器与生物微传感器和声波微传感器为主题, 介绍了不同种类微传感器的原理及应用; 最后第八章介绍了一些传感器的应用实例。 |
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主题词:
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微电机 传感器 |
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中图分类法:
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TP212 版次： 4 |
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主要责任者:
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朱勇 编著 |
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主要责任者:
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张海霞 编著 |
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索书号:
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TP212/2517 |
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索书号:
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TP212/2517 |